Кантилеверы
Цены
Технические
характеристики кремниевых кантилеверов
1.Габаритные
размеры кантилевера:
- длина (без консолей) Х ширина 3,6 х 1,6 + 0,01 мм
- толщина 350 - 450 мкм
2.Габаритные размеры игл:
- угол при вершине < 22 градуса
- высота > 7 мкм
- диаметр основания < 8 мкм
- радиус скругления острия (d/2):
категория "Super"
fpN11S, fpN10S, fpN01S, fpC11S, fpC10S, fpC01S < 10 нм
категория "Standard"
fpN11, fpN10, fpN01, fpC11, fpC10, fpC01 < 25 нм
3.Спецификация балок
кантилеверов:
fpN11S серия
(бесконтактные кантилеверы с двумя (короткой и длинной) балками)
|
Тип |
Длина балки,
l±5µm
|
Ширина балки,
w±3 µm
|
Толщина балки, µm |
Резонансная частота, kHz |
Силовая константа, N/m |
|
мин |
тип |
макс |
мин |
тип |
макс |
мин |
тип |
макс |
|
А |
100 |
35 |
1.7 |
2.0 |
2.3 |
193 |
254 |
325 |
5.6 |
11.5 |
22.3 |
|
B |
130 |
35 |
1.7 |
2.0 |
2.3 |
118 |
152 |
190 |
2.6 |
5.3 |
9.8 |
fpN10S серия (бесконтактные кантилеверы с одной короткой
балкой)
|
Тип |
Длина балки,
l±5µm
|
Ширина балки,
w±3 µm |
Толщина балки, µm |
Резонансная частота, kHz |
Силовая константа, N/m |
|
мин |
тип |
макс |
мин |
тип |
макс |
мин |
тип |
макс |
|
А |
100 |
35 |
1.7 |
2.0 |
2.3 |
193 |
254 |
325 |
5.6 |
11.5 |
22.3 |
fpN01S серия (бесконтактные кантилеверы с одной длинной
балкой)
|
Тип |
Длина балки,
l±5µm
|
Ширина балки,
w±3 µm |
Толщина балки, µm |
Резонансная частота, kHz |
Силовая константа, N/m |
|
мин |
тип |
макс |
мин |
тип |
макс |
мин |
тип |
макс |
|
B |
130 |
35 |
1.7 |
2.0 |
2.3 |
118 |
152 |
190 |
2.6 |
5.3 |
9.8 |
fpC11S серия (контактные кантилеверы с двумя (короткой и длинной) балками)
|
Тип |
Длина балки,
l±5µm
|
Ширина балки,
w±3 µm |
Толщина балки, µm |
Резонансная частота, kHz |
Силовая константа, N/m |
|
мин |
тип |
макс |
мин |
тип |
макс |
мин |
тип |
макс |
|
A |
350 |
35 |
0.7 |
1.0 |
1.3 |
7 |
10 |
14 |
0.01 |
0.03 |
0.08 |
|
B |
250 |
35 |
0.7 |
1.0 |
1.3 |
14 |
20 |
27 |
0.03 |
0.1 |
0.2 |
fpC10S серия (контактные кантилеверы с одной короткой балкой)
|
Тип |
Длина балки,
l±5µm
|
Ширина балки,
w±3 µm |
Толщина балки, µm |
Резонансная частота, kHz |
Силовая константа, N/m |
|
мин |
тип |
макс |
мин |
тип |
макс |
мин |
тип |
макс |
|
B |
250 |
35 |
0.7 |
1.0 |
1.3 |
14 |
20 |
27 |
0.03 |
0.1 |
0.2 |
fpC01S серия (контактные кантилеверы с одной длинной балкой)
|
Тип |
Длина балки,
l±5µm
|
Ширина балки,
w±3 µm |
Толщина балки, µm |
Резонансная частота, kHz |
Силовая константа, N/m |
|
мин |
тип |
макс |
мин |
тип |
макс |
мин |
тип |
макс |
|
A |
350 |
35 |
1.7 |
2.0 |
2.3 |
7 |
10 |
14 |
0.01 |
0.03 |
0.08 |
4. Расстояние от конца консоли до середины основания иглы
< 6 мкм
5. Угол отклонения конца балки относительно плоскости чипа
< 2 градуса
6. Область контроля отражения от консоли < 1/3
длины консоли
|
|
Коли-чество
балок |
Особенности |
Типы |
Цена, рубли |
Без покрытия |
Бесконтактные |
1 |
"Super" |
fpN10S |
500 |
fpN01S |
500 |
fpN20S |
500 |
"Standard" |
fpN10 |
400 |
fpN01 |
400 |
fpN20 |
400 |
|
fpN03 |
400 |
2 |
"Super" |
fpN11S |
635 |
"Standard" |
fpN11 |
500 |
Контактные |
1
|
"Super" |
fpC10S |
500 |
fpC01S |
500 |
"Standard" |
fpC10 |
400 |
fpC01 |
400 |
2
|
"Super" |
fpC11S |
635 |
"Standard" |
fpC11 |
500 |
С покрытиями |
Бесконтактные |
1 |
W2C, TiN |
fpN10W2C |
545 |
Pt, Au, |
fpN10Pt |
600 |
W2C, TiN |
fpN01W2C |
545 |
Pt, Au, |
fpN01Pt |
600 |
W2C, TiN |
fpN20W2C |
545 |
Pt, Au, |
fpN20Pt |
600 |
W2C, TiN |
fpN03W2C |
545 |
Pt, Au, |
fpN03Pt |
600 |
магнитные |
fpN01CoCr |
640 |
магнитные |
fpN03CoCr |
640 |
2
|
W2C, TiN |
fpN11W2C |
675 |
Pt, Au, |
fpN11Pt |
730 |
магнитные |
fpN11CoCr |
820 |
Контактные |
1
|
W2C, TiN |
fpC10W2C |
600 |
Pt, Au, |
fpC10Pt |
640 |
W2C, TiN |
fpC01W2C |
600 |
Pt, Au, |
fpC01Pt |
640 |
2
|
W2C, TiN |
fpC11W2C |
820 |
Pt, Au, |
fpC11Pt |
855 |
Примечания:
- Категория "Super" - гарантированный радиус скругления иглы 10
нм
- По желанию заказчика предоставляются фотографии каждой иглы, выполненными на электронном микроскопе
- Категория "Standard" - гарантированный радиус скругления иглы 25
нм
- Цены указаны без учета НДС и не включают страховку и расходы по доставке
Виды поставки:
Кантилеверы в пластиковом контейнере с гелевой подложкой, в одном контейнере до 50 шт.
Гарантийные обязательства:
6 месяцев с даты поставки |
Главная страница 
